洁净室检测参照标准以及相关细则

第三方洁净室检测验收单位需要通过国家实验室认可委（CNAS）认证和计量认证（CMA），其出具

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洁净度等级标准

A 、 ISO 14644-1 标准 （2001年11月底至今，同时废除美国联邦标准 FS209E 。） 该标准涵盖洁净室与

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悬浮粒子数

1.检测依据 《洁净室施工及验收规范》GB50591-2010； 《洁净室及相关受控环境第3部分：检测方法

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温度、相对湿度

1.检测依据 《洁净室施工及验收规范》GB50591-2010； 《洁净室及相关受控环境第3部分：检测方法

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悬浮粒子取样程序

悬浮粒子取样程序 1. ）取样点 每个功能间的最小取样点个数根据以下公式计算。若计算结果（

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照度

1.检测依据 《洁净室施工及验收规范》GB50591-2010。 2.检测方法 将照度计放在相应的测点位置，

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噪声

1.检测依据 《洁净室施工及验收规范》GB50591-2010。 2.检测方法 使用声级计直接测试房间噪声。

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静压差

《洁净室施工及验收规范》GB50591-2010； 《洁净室及相关受控环境第3部分：检测方法》GB/T2591

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风量、换气次数

1.检测依据 《洁净室施工及验收规范》GB50591-2010； 《洁净室及相关受控环境第3部分：检测方法

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